超純水系統(tǒng)跟著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的出產(chǎn)加工過程中，對于水質(zhì)的要求也越來越高。為了保證出產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外，高純水也是其中最要害的因素之一。

      超純水系統(tǒng)高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。超純水系統(tǒng)總體來說一般可分為三個部分：超純水制造區(qū)（CUB部分）、超純水拋光循環(huán)區(qū)（FAB部分）、超純水輸送管網(wǎng)（FAB各使用區(qū)）。其中超純水制造區(qū)最為復(fù)雜，其又可分為：預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。

      超純水系統(tǒng)預(yù)處理部分首要包含：沙濾、活性碳塔（有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池）；一次純水處理部分首要包含：陰陽離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透；超純水處理部分首要包含：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過濾器?？紤]到在向工藝設(shè)備輸送高純水過程中，輸水管道會對水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)首要以MB為核心，再加上超濾設(shè)備（UF），以除去在向工藝出產(chǎn)線輸送純水的過程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。

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